Гелиевый масс-спектрометрический тракт регистрирует пробный газ. Схему испытания выбирают по задаче: требуется оценить изделие целиком или найти конкретное место выхода газа.
Камерная схема
Камерный контроль формирует заданные вакуумные и газовые условия вокруг изделия. Система оценивает суммарный сигнал от контролируемого объёма, поэтому результат относится к изделию в целом.
Щуповой поиск
Щуп перемещают возле потенциальных мест выхода пробного газа. Такой подход используют для локализации дефекта, но результат зависит от траектории, скорости перемещения, расстояния до поверхности и окружающего фона.
Что определить заранее
- нужна интегральная оценка или локализация;
- какой пробный газ допустим для изделия;
- как будет удаляться остаточный газ;
- какой фон допустим между циклами;
- требуется ли предварительная проверка крупной течи.