Гелиевая установка EH PEU Gen3
Метод контроляГелиевый масс-спектрометрический контроль
Параметры установки
| Класс оборудования | гелиевая испытательная установка |
|---|---|
| Отрасль и применение | Силовая электроника |
| Измерительный метод | Гелиевый масс-спектрометрический контроль |
| Цикл испытания | ≤60 с/изделие |
| Чувствительность, как указано в источнике | 1.0×10⁻⁹ мбар·л/с |
| Метод контроля | гелиевый масс-спектрометрический контроль в вакуумной камере |
| Загрузка и выгрузка | ручной режим |
| Давление в пустой вакуумной камере | 20 Па(абс.) |
| Остаточное давление в изделии | 1000 Па (абс.) |
Принцип контроля
Гелий используется как пробный газ. Поток через негерметичность регистрирует масс-спектрометрический измерительный тракт; давление, камерная схема и обращение с газом определяются конфигурацией установки.
Функции и состав
Автоматизация
- Ручная загрузка или ручной режим
Безопасность и стабильность
- Самодиагностика измерительной системы
Данные для конфигурации
Для согласования испытательной схемы укажите:
- геометрия, материал и внутренний объём изделия
- испытательное давление и допустимый поток
- концентрация гелия и требования к возврату пробного газа
- требуемое время полного цикла
- способ загрузки и число одновременно испытываемых изделий
- требования к маркировке, хранению и передаче результатов
Состав испытательного цикла
- ЗагрузкаУстановка изделия в оснастку или вакуумную камеру.
- ГерметизацияСоединение изделия с испытательным контуром.
- ВакуумированиеПодготовка камеры и измерительного тракта.
- КонтрольПодача пробного газа и регистрация потока гелия.
- ЗавершениеСброс или возврат газа и выгрузка изделия.
Подберите конфигурацию под изделие
Укажите объём, давление, допустимый поток и время цикла.